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发明名称 THIN FILM PRODUCING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0551743(A) 申请公布日期 1993.03.02
申请号 JP19910210560 申请日期 1991.08.22
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 HASHIMOTO HAJIME;NOGAWA SHUICHI
分类号 C23C14/46;B01J3/02;C23C14/56;C23C16/54 主分类号 C23C14/46
代理机构 代理人
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