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发明名称 FORMATION OF OXIDE SUPER CONDUCTING THIN FILM BY ORGANOMETALLIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 JPH0551748(A) 申请公布日期 1993.03.02
申请号 JP19910230910 申请日期 1991.08.19
申请人 HOXAN CORP 发明人 AIDA SHINJI
分类号 C23C16/30;C23C16/44;C23C16/46;C23C16/50;C23C16/511;C30B25/14;H01L39/24 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
主权项
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