发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0547931(A) 申请公布日期 1993.02.26
申请号 JP19910208083 申请日期 1991.08.20
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 OKAWA KAZUHIKO
分类号 H01L21/82;H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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