发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH0547329(A) 申请公布日期 1993.02.26
申请号 JP19910205907 申请日期 1991.08.16
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 KATO MITSUO;TSURUSAKI KAZUYA;TAGUCHI TOSHIO;SHINYA KENJI
分类号 H01J27/16;H01J37/08 主分类号 H01J27/16
代理机构 代理人
主权项
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