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经营范围
发明名称
ION SOURCE
摘要
申请公布号
JPH0547329(A)
申请公布日期
1993.02.26
申请号
JP19910205907
申请日期
1991.08.16
申请人
MITSUBISHI HEAVY IND LTD
发明人
KATO MITSUO;TSURUSAKI KAZUYA;TAGUCHI TOSHIO;SHINYA KENJI
分类号
H01J27/16;H01J37/08
主分类号
H01J27/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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