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发明名称 LIGHT SOURCE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0547637(A) 申请公布日期 1993.02.26
申请号 JP19910206638 申请日期 1991.08.19
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ENAMI TATSUO
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01S3/104 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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