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发明名称
TESTING METHOD FOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH0541441(A)
申请公布日期
1993.02.19
申请号
JP19910161187
申请日期
1991.07.02
申请人
NEC KYUSHU LTD
发明人
FUJISHITA TOSHIHIRO
分类号
G01R31/26;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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