发明名称 FORMATION OF GRATING PATTERN
摘要
申请公布号 JPH0534512(A) 申请公布日期 1993.02.12
申请号 JP19910000599 申请日期 1991.01.08
申请人 NEC CORP 发明人 KOJIMA YOSHIKATSU
分类号 G02B5/18;G03F7/16;G03F7/20 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
主权项
地址