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发明名称
FORMATION OF GRATING PATTERN
摘要
申请公布号
JPH0534512(A)
申请公布日期
1993.02.12
申请号
JP19910000599
申请日期
1991.01.08
申请人
NEC CORP
发明人
KOJIMA YOSHIKATSU
分类号
G02B5/18;G03F7/16;G03F7/20
主分类号
G02B5/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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