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发明名称 TI-W TARGET MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH0533129(A) 申请公布日期 1993.02.09
申请号 JP19910212873 申请日期 1991.07.30
申请人 HITACHI METALS LTD 发明人 HIRAKI AKITOSHI;MASUDA KAORU;MATSUMOTO SHUNICHIRO
分类号 C23C14/14;C23C14/34 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
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