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发明名称 VAPOR-PHASE GROWTH METHOD AND PLASMA PROCESS DEIVCE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH0532483(A) 申请公布日期 1993.02.09
申请号 JP19910120206 申请日期 1991.05.24
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 MABUCHI HIROTSUGU
分类号 C30B25/02;H01L21/205 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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