| 发明名称 |
SUBSTRATE TREATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0533136(A) |
申请公布日期 |
1993.02.09 |
| 申请号 |
JP19910212886 |
申请日期 |
1991.07.29 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
NAKAZAWA MAKOTO;MATSUMURA YOSHITAKA;YUASA SATOSHI |
| 分类号 |
C23C14/48;C23C14/50;C23C14/56;C23F4/00;H01L21/265 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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