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发明名称 IC CONVEYANCE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0529792(A) 申请公布日期 1993.02.05
申请号 JP19910182793 申请日期 1991.07.24
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 SEI YOSHIAKI
分类号 H01L21/50;H05K13/02;H05K13/08 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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