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发明名称 METHOD FOR CONTROLLING DISCHARGE VOLTAGE OF THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0517879(A) 申请公布日期 1993.01.26
申请号 JP19910023612 申请日期 1991.02.18
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD 发明人 MORI KAZUMI
分类号 C23C16/50;C23C16/52 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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