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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0513529(A) 申请公布日期 1993.01.22
申请号 JP19910164830 申请日期 1991.07.05
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 NAKAJIMA TOSHIHIKO
分类号 G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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