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发明名称 OPTISCHE VORRICHTUNG ZUR BELEUCHTUNG EINER PROBE IN EINEM SPEKTRALELLIPSOMETER MIT HOHER SEITLICHER AUFLOESUNG.
摘要
申请公布号 DE3779568(T2) 申请公布日期 1993.01.21
申请号 DE19873779568T 申请日期 1987.10.07
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 ERMAN, MARKO SOCIETE CIVILE S.P.I.D.;HILY, CLAUDE SOCIETE CIVILE S.P.I.D.;LE BRIS, JEAN SOCIETE CIVILE S.P.I.D., F-75007 PARIS, FR
分类号 G01J3/10;G01J3/02;G01J3/04;G01J3/447;G01N21/21;(IPC1-7):G01J3/02 主分类号 G01J3/10
代理机构 代理人
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