| 发明名称 |
MAGNETIC LEVITATION CARRIER DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH054718(A) |
申请公布日期 |
1993.01.14 |
| 申请号 |
JP19910154587 |
申请日期 |
1991.06.26 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
KANEMITSU YOICHI;MORI SATOSHI;SHIRAO YUJI;EGUCHI MASATO |
| 分类号 |
B60L13/04;B60L13/10;B65G54/02;H01L21/677;H01L21/68 |
主分类号 |
B60L13/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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