发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH056865(A) 申请公布日期 1993.01.14
申请号 JP19910157130 申请日期 1991.06.27
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 HODATE KEIICHI
分类号 H01L21/28;H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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