发明名称 PROCESS OF TREATMENT OF PLATES
摘要
申请公布号 RU1783594(C) 申请公布日期 1992.12.23
申请号 SU19914900443 申请日期 1991.01.08
申请人 OD G UNIV IM.I.I.MECHNIKOVA 发明人 VASILENKO NIKOLAJ D,SU;ZELENIN YURIJ A,SU;KRASNOV VASILIJ A,SU;KOVTUN GENNADIJ P,SU;MALYSHEV VALERIJ D,SU
分类号 H01L21/208 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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