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经营范围
发明名称
FOREIGN MATTER INSPECTION APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH04364749(A)
申请公布日期
1992.12.17
申请号
JP19910139880
申请日期
1991.06.12
申请人
NIKON CORP
发明人
HAYANO FUMITOMO;NOMURA KYOICHI
分类号
G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
主权项
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