摘要 |
Une pompe microminiaturisée (1) comprend deux corps de pompe (2, 3) superposés, reliés l'un à l'autre et constitués par un matériau semiconducteur, englobant chacun des domaines électriquement conducteurs, isolés électriquement les uns des autres. Afin d'étendre le domaine d'application d'une telle pompe (1) au pompage de solutions aqueuses, au moins l'un des deux corps de pompe (2, 3) présente une zone élastique mince analogue à une membrane (8, 9) dans laquelle est intégrée au moins un clapet de retenue (12, 13) présentant une ouverture d'entrée (18) et une plaque de fermeture (22) recouvrant celle-ci, ladite zone élastique mince analogue à une membrane (8, 9) entourant au moins une partie du domaine électriquement conducteur de l'un des corps de pompe (2, 3), le domaine électriquement conducteur de l'autre corps de pompe (2, 3) étant disposé à un faible intervalle par rapport à la grandeur de la surface de la zone élastique mince précitée (8, 9). |