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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH04360520(A)
申请公布日期
1992.12.14
申请号
JP19910136271
申请日期
1991.06.07
申请人
RYODEN SEMICONDUCTOR SYST ENG KK;MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
JOUNTEN YUTAKA;MATSUZAKI HIKARI
分类号
H01L21/205;H01L21/22
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
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