| 发明名称 |
SCANNING-TYPE PROBE MICROSCOPE AND OBSERVATION METHOD THEREWITH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04350503(A) |
申请公布日期 |
1992.12.04 |
| 申请号 |
JP19910152471 |
申请日期 |
1991.05.28 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SATO YASUBUMI;KAWASE TOSHIMITSU;MIYAZAKI TOSHIHIKO;HATANAKA KATSUNORI |
| 分类号 |
G01B7/34;G01N37/00;G01Q10/06;G01Q30/04;G01Q60/10;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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