发明名称 WIRING PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04348034(A) 申请公布日期 1992.12.03
申请号 JP19910149949 申请日期 1991.05.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OOUCHI SHIYUUICHIROU
分类号 H01L21/3205;H01L29/78 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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