发明名称 CRYOPUMP WITH DIFFERENTIAL PUMPING CAPABILITY
摘要 Une cryopompe est capable d'effectuer un pompage dans une chambre de traitement à une pression de traitement donnée et de pomper de manière différentielle dans une seconde chambre telle qu'un analyseur de gaz résiduel indépendamment à une pression sensiblement inférieure. Un organe s'étend à travers le logement de la cryopompe jusque dans une région de basse pression disposée de l'intérieur du réseau du second étage. Ledit organe comprend un orifice permettant l'accès à la région de basse pression, produisant ainsi une source de pompage différentiel indépendante. Auncun joint d'étanchéité physique n'est requis entre ledit organe et le volume principal de la cryopompe pour maintenir le différentiel de pression.
申请公布号 WO9220918(A2) 申请公布日期 1992.11.26
申请号 WO1992US03972 申请日期 1992.05.13
申请人 HELIX TECHNOLOGY CORPORATION 发明人 BARTLETT, ALLEN, J.;AITKEN, DOUGLAS, F.
分类号 F04B37/08;F04B37/16 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
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