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发明名称 MANUFACTURE OF GROOVE-SHAPED CAPACITOR
摘要
申请公布号 JPH04340268(A) 申请公布日期 1992.11.26
申请号 JP19910027082 申请日期 1991.02.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 YONEDA KENJI
分类号 H01L27/04;H01L21/822 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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