发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND TESTING METHOD FOR CIRCUIT BLOCK
摘要
申请公布号 JPH04337486(A) 申请公布日期 1992.11.25
申请号 JP19910108000 申请日期 1991.05.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MAENO HIDESHI
分类号 G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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