发明名称 METHOD OF FORMING DIAMOND FILM
摘要
申请公布号 JPH04331798(A) 申请公布日期 1992.11.19
申请号 JP19910130676 申请日期 1991.05.02
申请人 TOYOTA CENTRAL RES & DEV LAB INC 发明人 UCHIDA KIYOSHI;HIGUCHI KAZUO;NODA MASAHARU
分类号 C23C16/26;C23C16/27;C30B29/04 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
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