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发明名称 DIELECTRIC ISOLATED SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF AND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04330765(A) 申请公布日期 1992.11.18
申请号 JP19910100791 申请日期 1991.05.02
申请人 HITACHI LTD;HITACHI HARAMACHI SEMICONDUCTOR LTD 发明人 ARAKAWA HIDETOSHI;INOUE HIRONORI;TAKAHASHI SHIGERU;SUGAWARA YOSHITAKA
分类号 H01L21/762;H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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