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发明名称
DEPOSITED FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04329883(A)
申请公布日期
1992.11.18
申请号
JP19910124620
申请日期
1991.04.30
申请人
CANON INC
发明人
SHIRASAGO TOSHIYASU
分类号
C23C16/54;C23C16/44;H01L21/205
主分类号
C23C16/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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