发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH04315478(A) 申请公布日期 1992.11.06
申请号 JP19910108611 申请日期 1991.04.12
申请人 TOYOTA MOTOR CORP 发明人 SUGIMOTO MASAHIRO
分类号 H01L21/306;H01L29/84 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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