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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON OHMSCHEN KONTAKTEN FUER VERBINDUNGSHALBLEITER
摘要
申请公布号 DE4113969(A1) 申请公布日期 1992.11.05
申请号 DE19914113969 申请日期 1991.04.29
申请人 TELEFUNKEN ELECTRONIC GMBH, 7100 HEILBRONN, DE 发明人 GERNER, JOCHEN, DIPL.-PHYS., 6908 WIESLOCH, DE;SCHAIRER, WERNER, DR., 7102 WEINSBERG, DE
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L29/45;H01L33/30;H01L33/40 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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