发明名称 INTEGRATED ELEMENT AND METHOD FOR FORMING WIRING LAYER THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04304661(A) 申请公布日期 1992.10.28
申请号 JP19910068241 申请日期 1991.04.01
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KATO KAZUTOSHI;HATA SUSUMU;YOSHIDA JUNICHI
分类号 H01L23/538;H01L21/3205 主分类号 H01L23/538
代理机构 代理人
主权项
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