| 发明名称 |
Shape decompositon system and method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5159201(A) |
申请公布日期 |
1992.10.27 |
| 申请号 |
US19910736663 |
申请日期 |
1991.07.26 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
FREI, JOSEPH B. |
| 分类号 |
G03F1/00;G06F17/50;H01J37/302;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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