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发明名称 OPTICAL MEASUREMENT DEVICE WITH ENHANCED SENSITIVITY
摘要
申请公布号 US5159412(A) 申请公布日期 1992.10.27
申请号 US19910670040 申请日期 1991.03.15
申请人 THERMA-WAVE, INC. 发明人 WILLENBORG, DAVID L.;ROSENCWAIG, ALLAN;OPSAL, JON
分类号 G01B11/06;G01M11/00;G01N21/21;G01N21/55;G01N21/84 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
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