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发明名称 OPTICAL PROJECTION SYSTEM
摘要
申请公布号 US5159172(A) 申请公布日期 1992.10.27
申请号 US19900564007 申请日期 1990.08.07
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 GOODMAN, DOUGLAS S.;ROSENBLUTH, ALAN E.;TIBBETTS, RAYMOND E.;WILCZYNSKI, JANUSZ S.
分类号 G02B17/00;G02B17/02;G02B17/08;G02B19/00;G02B27/18;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01S3/101 主分类号 G02B17/00
代理机构 代理人
主权项
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