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发明名称 METHOD OF FORMATION OF SURFACE IRREGULARITY OF TRANSPARENT INSULATING FILM IN SEMICONDUCTOR OPTICAL DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04287911(A) 申请公布日期 1992.10.13
申请号 JP19910024684 申请日期 1991.02.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KAWABATA SEIJI
分类号 H01L21/20;H01L21/324 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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