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发明名称 OBSERVING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR CHIP
摘要
申请公布号 JPH04286344(A) 申请公布日期 1992.10.12
申请号 JP19910051028 申请日期 1991.03.15
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KAWAGUCHI SHINTARO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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