发明名称 PRODUCTION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL AND RAW MATERIAL SUPPORTING MEMBER THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH04280893(A) 申请公布日期 1992.10.06
申请号 JP19910043236 申请日期 1991.03.08
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 WACHI MICHINORI;TAWARASAKO SHUICHI
分类号 C30B15/02;C30B27/02;C30B29/40;H01L21/208 主分类号 C30B15/02
代理机构 代理人
主权项
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