| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING HETEROJUNCTION FILM AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04280962(A) |
申请公布日期 |
1992.10.06 |
| 申请号 |
JP19910053169 |
申请日期 |
1991.02.26 |
| 申请人 |
KAWATETSU MINING CO LTD;RES DEV CORP OF JAPAN |
发明人 |
KOINUMA HIDEOMI;NAGATA TOSHIRO;TATE YOSHIHITO |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/22;C23C28/00 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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