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发明名称 FIELD OXIDE FILM FORMATION
摘要
申请公布号 JPH04279045(A) 申请公布日期 1992.10.05
申请号 JP19910040308 申请日期 1991.03.06
申请人 GENDAI DENSHI SANGYO KK 发明人 SON KOUSHIYOKU
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L21/465;H01L21/469;H01L21/762 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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