| 摘要 |
L'invention concerne une tête d'interféromètre (1) présentant un bâti ou un boîtier (4) auquel sont reliés rigidement (par collage) un séparateur de faisceau (7) pour la division spatiale du faisceau laser en un faisceau de mesure et en un faisceau de référence, et au moins un dispositif de recombinaison (15), dans lequel, respectivement, un faisceau de référence guidé par l'intermédiaire d'un parcours de référence (10) s'étendant dans la tête de l'interféromètre, et un faisceau de mesure ou une fraction d'un faisceau de mesure, guidé par l'intermédiaire d'un miroir de mesure mobile (12) ou d'une surface de mesure réfléchissante, interfèrent, avec formation d'au moins un signal optique d'interférence. Afin de permettre une mesure exacte de grands parcours de déplacement ou de grandes distances et d'obtenir une insensibilité élevée vis-à-vis d'influences perturbatrices extérieures, notamment mécaniques, il est prévu, conformément à l'invention, que la tête (1) de l'interféromètre présente une lentille de sortie (9) fixée au bâti (4) de la tête (1), pour le découplage du rayon de mesure (60) guidé dans un guide d'ondes lumineuses (8) logé dans ladite tête (1), sur un parcours de mesure situé à l'extérieur de cette tête (1), et que la tête (1) présente en outre, au moins une lentille de couplage (13) pour le couplage du faisceau de mesure (60') ou d'une fraction de celui-ci, renvoyé à partir de parcours de mesure, après réflexion sur un miroir de mesure (12) disposé à l'extérieur de la tête (1) ou sur une surface réfléchissante, dans un guide d'ondes lumineuses (14). En outre, il est prévu, pour le guidage du/ou des faisceaux de référence et des parties du faisceau de mesure s'étendant dans la tête (1), des guides d'ondes lumineuses (8, 10, 14, 14') qui sont liés rigidement au bâti (4) de la tête (1) de l'interféromètre, de préférence en étant scellés à ce bâti. |
