发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR DEFLECTING CHARGED PARTICLE BEAM |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH04269819(A) |
申请公布日期 |
1992.09.25 |
申请号 |
JP19910287193 |
申请日期 |
1991.10.08 |
申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
GUENZAA OO RANGUNAA;POORU EFU PETORITSUKU |
分类号 |
G03F7/20;H01J37/147;H01J37/30;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F7/20 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|