发明名称 IRRADIATION WITH ION BEAM
摘要
申请公布号 JPH04268066(A) 申请公布日期 1992.09.24
申请号 JP19910026370 申请日期 1991.02.20
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 HIRONO YUTAKA
分类号 C23C14/24;C23C14/32;C23C14/48 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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