发明名称 METHOD FOR PRODUCTION OF TITANIUM NITRIDE FROM ORGANIC METAL PRECURSOR
摘要
申请公布号 JPH04265209(A) 申请公布日期 1992.09.21
申请号 JP19910295736 申请日期 1991.11.12
申请人 FORD MOTOR CO 发明人 CHIYAITANYA KUMAA NARURA
分类号 C01B21/076;C04B41/50;C04B41/87;C23C18/12 主分类号 C01B21/076
代理机构 代理人
主权项
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