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发明名称
METHOD FOR PRODUCTION OF TITANIUM NITRIDE FROM ORGANIC METAL PRECURSOR
摘要
申请公布号
JPH04265209(A)
申请公布日期
1992.09.21
申请号
JP19910295736
申请日期
1991.11.12
申请人
FORD MOTOR CO
发明人
CHIYAITANYA KUMAA NARURA
分类号
C01B21/076;C04B41/50;C04B41/87;C23C18/12
主分类号
C01B21/076
代理机构
代理人
主权项
地址
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