发明名称 Thermionic evaporation rate controller
摘要
申请公布号 US3235480(A) 申请公布日期 1966.02.15
申请号 US19630271127 申请日期 1963.04.08
申请人 ELECTRA MANUFACTURING COMPANY 发明人 SWARTZ GAYLORD A.;MILKS BOBBY G.
分类号 C23C14/54;H01C17/08;H01J37/34 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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