发明名称 |
Thermionic evaporation rate controller |
摘要 |
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申请公布号 |
US3235480(A) |
申请公布日期 |
1966.02.15 |
申请号 |
US19630271127 |
申请日期 |
1963.04.08 |
申请人 |
ELECTRA MANUFACTURING COMPANY |
发明人 |
SWARTZ GAYLORD A.;MILKS BOBBY G. |
分类号 |
C23C14/54;H01C17/08;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/54 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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