| 发明名称 |
APPARATUS AND PROCESS FOR THE NON-CONTACT MEASUREMENT OF THE OHMIC RESISTANCE OF THIN LAYERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2217859(B) |
申请公布日期 |
1992.09.09 |
| 申请号 |
GB19890009486 |
申请日期 |
1989.04.26 |
| 申请人 |
* LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
GERNOT * THORN |
| 分类号 |
G01D5/16;G01N27/90;G01R27/02 |
主分类号 |
G01D5/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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