| 发明名称 |
MOVING APPARATUS FOR PROBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04252903(A) |
申请公布日期 |
1992.09.08 |
| 申请号 |
JP19910029349 |
申请日期 |
1991.01.29 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SHITO SHUNICHI;SAKAI KUNIHIRO;MIYAZAKI TOSHIHIKO;OGUCHI TAKAHIRO |
| 分类号 |
G01B7/34;G01N37/00;G01Q10/02;G01Q10/04;G01Q60/10;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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