发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04252030(A) 申请公布日期 1992.09.08
申请号 JP19910008266 申请日期 1991.01.28
申请人 NEC CORP 发明人 NISHIO SHINYA
分类号 H01L21/225;H01L21/306 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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