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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR FORMING COMPOUND THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH04246168(A)
申请公布日期
1992.09.02
申请号
JP19910025014
申请日期
1991.01.28
申请人
JAPAN STEEL WORKS LTD:THE
发明人
SHIBATA TAKASHI;TOKUSHIGE HIROYUKI
分类号
C23C14/06;C23C14/30
主分类号
C23C14/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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