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发明名称
METHOD FOR DEPOSITING INTERCONNECTION METALLURGY USING LOW TEMPERATURE ALLOY PROCESSES
摘要
申请公布号
US5143867(A)
申请公布日期
1992.09.01
申请号
US19910654999
申请日期
1991.02.13
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
D'HEURLE, FRANCOIS M.;HARPER, JAMES M. E.
分类号
H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/321;H01L21/768
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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