发明名称 METHOD FOR DEPOSITING INTERCONNECTION METALLURGY USING LOW TEMPERATURE ALLOY PROCESSES
摘要
申请公布号 US5143867(A) 申请公布日期 1992.09.01
申请号 US19910654999 申请日期 1991.02.13
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 D'HEURLE, FRANCOIS M.;HARPER, JAMES M. E.
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/321;H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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