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摘要
申请公布号
JPH04238893(A)
申请公布日期
1992.08.26
申请号
JP19910013869
申请日期
1991.01.10
申请人
NIPPON SOKEN INC
发明人
OOMI TAKUHIRO;SAEKI KIYOSHI
分类号
C23C14/50;C30B23/08;C30B25/12;H01L21/285
主分类号
C23C14/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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